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主营产品:半导体制造设备,研磨减薄、划片裂片、贴膜撕膜、测试分选、高温退火、排巴退巴、扩膜机、UV解胶、划片清

[供应]OPTO LD BAR 条排列机排巴机LNS10DOK

更新时间:2020/7/23 11:20:30
OPTO LD BAR 条排列机排巴机LNS10DOK
一、本装置是将双环上的LD Bar 和Spacer Bar 相互排列到镀膜用排列治具中的全自动设备。 

1.通过顶针机构将LD BAR 条从蓝膜上顶起,通过机械手吸取并放置到镀膜用排列治具中。 

2.通过机械手吸取Spacer bar 并放置到镀膜排列治具中。 

二、对象工件、供给形态、治具、排列状态: 

1.对象工件LD Bar 共振腔长:200μm,250μm,500μm,800μm 

LD Bar 长度:8-27mm 

LD Bar 厚度:85-120μm±10μm 

※要进行从膜上的剥离试验 

Space Bar 共振腔长:180μm,230μm,480μm,780μm 

Space Bar 长度:8-30mm 

Space Bar 厚度:85-120μm±10μm 

Space Bar 材质:硅或砷化镓 

2.LD Bar 供给形态双层环:6英寸(GRIP-4) 

3.Spacer Bar 供给托盘引脚托盘:100根/1托盘,可以装置1枚 

供给状态:Spacer Bar 向着共振腔方向并列排列的状态 

4.排列治具设备上装载数量:1个 

(治具)※如需特殊规格,请提供治具图纸。 

5.排列状态段差排列 

排列状态(单面平坦-单面段差) 

*通过更换排列治具后、也可以对应平面放置。 

三、设备工作流程: 

1.工件在安装后自动开始。 

2.通过CCD 摄像头1、认识确认双层环上的LD bar 全部数量。 

3.通过摄像头2、根据③的位置数据进行精准对位。 

4.SP Bar 供给工作台,***初的SP 取出向位置移动、通过激光传感器进行位置确认进行SPBar 的位置重合 

5.通过SPBar 供给搬送吸嘴的抓取动作吸着SP Bar,通过吸嘴真空压传感器确认有无工件。 

6.使用排列工作台Y轴及Bar 按压Y、Z轴机构时SP Bar 排列。此时、通过传感器进行排列位置范围位 

置确认。(排列工作台及Bar 按压系统) 

7.通过④对位完成的LDBar 由吸嘴的抓取动作和膜剥离动作、吸取抓取LD Bar.此时、通过吸嘴的真空 

压传感器确认有无工件。在搬送途中吸嘴90°旋转、传感器确认LD bar 的折断有无。此后、向排列治 

具移动在Z轴向治具里放入工件。 

※LDBar 折断被检出的工件向NG 盒搬送。(LD 供给搬送) 

8.排列工作台Y轴及Bar 按压机构的使用进行LD Bar 的排列。 

此时、通过传感器确认排列位置范围。 

(排列工作台及Bar 按压系统) 

9.重复上面④~⑨的动作、供给托盘(LD bar 或者SP)空了及排列治具装满的情况下、通过警报灯及 

旋律通知。更换工件、从供给后①开始再次操作。 

四、数据表示?不良Bar 的取出: 

1.表示累积处理的个数 

2.供给扩张环内的LD Bar 在抓取搬送途中,LD Bar 的折断经过传感器确认后、NG 的情况下向HG 托盘运送。 

五、装满及报警: 

1.根据排列治具的根数设定或者在排列范围装满时及供给工件(LD Bar、Spacer Bar)没有了的情况、发 

出警报和警报灯闪烁。 
装置尺寸1500(W)×1000(D)×2000(H)mm
重量約:1000kg
电源:230V 50/60Hz 15A
空气:0.5MPA 2L/min
真空:设备内置真空发生器
注)装置尺寸及重量,由于概略尺寸变化会发生变化。
注)总线路1000mm
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