缺陷定位微光显微镜厂家_微光显微镜系统_PEM微光显微镜系统
EMMI 微光显微镜是一种效率极高的失效分析工具，提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式，可侦测和定位非常微弱的发光（可见光及近红外光），由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
EMMI 侦测对应故障种类涵盖ESD，Latch up，I/O Leakage，junction defect，hot electrons，oxide current leakage等所造成的异常。
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