爱发科真空镀膜机VTR-060M/ERH真空泵机组 爱发科真空镀膜机VTR-060M/ERH 特性: 小型台式 配置分子泵 只启动开关,即可获得高真空排气 具有高扩展性、可镀多层膜及基板旋转 适于低熔点金属蒸镀 应用: 电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发 EL有机层薄膜研发 爱发科真空镀膜机VTR-060M/ERH真空泵机组 爱发科真空镀膜机VTR-060M/ERH真空泵机组