在超纯水系统中,TOC(总有机碳)的分解至关重要,利用活性碳吸收和逆渗透系统或者用去离子设备可以减少一些TOC的含量,然而为了大量降低TOC,通常是利用紫外线作为处理过程的一步,这是即简捷又非常有效果的方法;采用低压高能紫外线灯技术产生放射出羟基自由基,能够将大部分有机物氧化成二氧化碳(CO2)和水H2O。