晶体平面研磨抛光机设备规格：
型号 YM-18A YM-24A YM-36A YM-48A
抛光盘规格 φ460*φ140 φ610*φ200 φ910*φ300 φ1220*φ400
抛光尺寸 φ150mm φ200mm φ300mm φ450mm
抛光后平面度 ±0.5u以内 ±0.7u以内 ±1u以内 ±1u以内
工件平行度（25mm） ±1u以内 ±1.5u以内 ±2u以内 ±2u以内
工件粗糙度 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内
抛光盘电机功率 2.2kw 3相380V 3.7kw 3相380V 7.7kw 3相380V 11kw 3相380V
抛光盘转速 0~120rpm 0~100rpm 0~80rpm 0~60rpm
外形尺寸 700*1100*1100mm 950*1200*2200mm 1200*1400*2300mm 1500*1700*2400mm
重量 960kg 1800kg 2600kg 4500kg
晶体平面研磨抛光机主要用途：
该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。
晶体平面研磨抛光机工作原理：
本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。
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