复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1-00%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及,ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,洁净室 造价,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净室(Clean Room)也叫无尘室、无尘车间、洁净厂房、无尘厂房、洁净车间,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除,洁净室,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。洁净室应用涉及到光学电子、半导体芯片、LED液晶制造,生物医1药、精密仪器、饮料食品,PCB印刷等高新技术企业,以及医1院和美容等行业的洁净手术室(无尘手术室).单向流(10—100级)洁净室10—100级的洁净室,均采用单向流的气流组织送风方式,即洁净室内的气流在同一截面的任一点,气流方向和速度均保持一致,这样可以使洁净室气流像“活塞”一样,实验室洁净室,将室内的尘埃粒子以快的速度带走。要实现“活塞”的效果,高1效过滤器需要满足屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。非单向流(1000—30万级)洁净室1000—30万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同,室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,承接洁净室,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,来实现室内空气的净化。不同净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。 产品:通利净化供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单