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晶体成长(Body Growth):不断调整提升速度和融炼温度,维持固定的晶棒直径,蓝膜片,只到晶棒长度达到预定值。
5)、尾部成长(Tail Growth):当晶棒长度达到预定值后再逐渐加快提升速度并提高融炼温度,使晶棒直径逐渐变小,以避免因热应力造成排差和滑移等现象产生,蓝膜片INK DIE,终使晶棒与液面完全分离。到此即得到一根完整的晶棒。
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晶圆工艺是从大的方面来讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第道工序,晶圆,其余的全部属晶片制造,所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序)。
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去疵(Gettering):用喷砂法将晶片上的瑕疵与缺陷感到下半层,以利于后序加工。 9、抛光(Polishing):对晶片的边缘和表面进行抛光处理,一来进一步去掉附着在晶片上的微粒,二来获得表面平整度,以利于后面所要讲到的晶圆处理工序加工。
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