真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。至今,镀膜设备已经被广泛应用于光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、汽车、民用装饰品等行业。制镀薄膜尤其广泛,其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中,如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫的星、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等,镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。
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