溅射靶材北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年,氧化铬公司, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。 靶材要求:纯度 陶瓷靶材的纯度对溅射薄膜的性能影响很大,陶瓷靶材的纯度越高,溅射薄膜的均匀性和批量产量的一致性越好。近年来随着微电子产业的迅速发展,硅器件布线宽度已发展到0.13μm,对成膜面积的薄膜均匀性要十分严格,其纯度必须大于4N。此外显示平面用的ITO靶材对纯度也要求十分严格,要求ITO的纯度都大于4N。磁性薄膜用陶瓷靶材的纯度也要不3N。靶材作为溅射中的阴极源,固体中的杂质是沉积薄膜的主要污染源,如:碱金属离子(Na+、K+)易在绝缘层(SiO)中成为可移动性离子,降低元器件性能,氧化铬,其含量须在0.01ppm(重量)以下。石久高研专注15年提供高纯金属靶材 、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
溅射靶材 北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。 微电子硅片引线中,铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及更低的电阻率 ,能够满足半导体工艺在 0.25 μm以下的亚微米布线的需要 ,但却带来了其他的问题 。铜与有机介质材料的附着强度低 并且容易发生反应 ,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。 为了解决以上这些问题, 需要在铜与介质层之间设置阻挡层。 阻挡层材料一般采用高熔点 、高电阻率的金属及其化合物 。因此要求阻挡层厚度小于 50 nm 且与铜及介质材料的附着性能良好。 铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的 ,氧化铬出售,需要研制新的靶材材料。 铜互连的阻挡层用靶材包括 Ta、 W、 TaSi 、WSi 等。但是 Ta、W 都是难熔金属,制备相对困难 现在正在研究钼、铬等的合金作为替代材料 。石久高研专注15年提供高纯金属靶材 、高纯靶材欢迎来电咨询~~~溅射靶材北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。铝靶材用途:适用于直流二极溅射、三极溅射、四级溅射、射频溅射、对向靶溅射、离子束溅射、磁控溅射等,可镀制反光膜、导电膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰膜、保护膜、集成电路、显示器等,氧化铬多少钱,相对其它靶材,铝靶材的价格较低,所以铝靶材是在能满足膜层的功能前提下的优选靶材料。石久高研专注15年提供高纯金属靶材 、高纯靶材欢迎来电咨询~~~ 氧化铬多少钱、氧化铬、北京石久高研(查看)由北京石久高研金属材料有限公司提供。氧化铬多少钱、氧化铬、北京石久高研(查看)是北京石久高研金属材料有限公司(shijiugaoyan168.b2b.hc360.com)今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取新的信息,联系人:史永泰。 产品:石久高研供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单