CV4真空发生器-检漏时出现的故障,真空发生器世安!
检漏故障一、通常车间检漏生产之前,会拿样件试检漏( 此样件通常是生产过程中产生的废品,漏率接近设定漏率) ,会发现漏的样件不漏的现象。这是因为漏的样件本身漏率较小,经过多次检漏后,微孔被灰尘堵塞而不漏了。
CV4真空发生器参数概述
喷嘴孔径
Φ0.5 、1.0、 1.3(mm)
达到真空程度
-56或者-90 (KPa)
真空检知开关模式
附带MPS-V2G,MVS-035G/030AB/VSW,无传感器
定格压力
0.5或者0.35MPa
CV4真空发生器-检漏时出现的故障,真空发生器世安!
检漏故障一二、检查仪器系统是否有漏,真空管路是否污染,检查三极规上压力是否达到10-6MPa,离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题,如果车间内有多台检漏仪,且氦气的使用量较大时,车间通风不好时;
东莞世安提供的CV4真空发生器具有真空发生器、压力开关、消音器一体化特点,可搭载真空开关。
真空发生器的用途:
1、主发生器:在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空发生器。
2、粗抽发生器:从大气压开始,降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空发生器。
3、前级发生器:用以使另一个发生器的前级压力维持在其许可的前级压力以下的真空发生器。前级发生器也可以作粗抽发生器使用。
4、维持发生器:在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级发生器,维持主发生器正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空发生器。
CV4真空发生器-检漏时出现的故障,真空发生器世安!
检漏故障三、 工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常,工作几次后,抽速大大减慢,检漏不过;加死堵检漏仪不漏,工作正常。灵敏度低。检查三极规所测压力, 等到质谱室压力<10-6MPa 时再检漏;如果压力达到,检查离子源是否被污染,清洗离子源。
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http://www.seyasu.com.cn/Products/Vacuum_generator/list_191_1.html
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