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PECVD 化学气相沉积法作为镀膜相当常用的工艺之一，被用于半导体、太阳能电池片的生产工艺中。作为硅片的载体，石墨是相当理想的材料之一，对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用，要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电系数。上海鸿钧碳素 将为客户提供高质量及高性价比的管式PECVD石墨舟及相关配件维修服务。
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