【半导体用高纯石英管 】 【高纯石英管半导体用生产厂家】 【高纯石英管用生产厂家】
石英管尺寸公差 Dimensional Tolerance(table Ⅱ)
外径范围
Range of OD 外径
OD 壁 厚
WT 偏壁度
Siding 椭圆度
Ellipsticity 弯曲度
Camber/1220mm
≤5mm ±2.0% ±10% 12% 2.0% 2.5mm
6.00-15.00mm ±1.25% ±8% 10% 1.5% 2.5mm
15.00-20.00mm ±1.25% ±10% 15% 1.5% 2.5mm
20.00-25.00mm ±1.25% ±10% 15% 1.5% 3.0mm
25.00-30.00mm ±1.35% ±12% 15% 1.5% 3.0mm
30.00-80.00mm ±1.5% ±14% 15% 2.0% 3.0mm
