电子束蒸发与磁控溅射镀膜的性能分析北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，北京电子束镀膜仪厂家，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，北京电子束镀膜仪，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。北京电子束镀膜仪膜厚严格控制发Al膜的厚度是十分重要的，因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能，从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管来说，它的工作电压高，电流大，没有一定厚度的金属膜会造成成单位面积Al膜上电流密度过高，北京电子束镀膜仪供应商，易烧毁。对于一般的半导体器件，Al层偏薄，则膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，引起压焊引线困难，造成不易压焊或压焊不牢，从而影响成品率;Al层过厚，引起光刻时图形看不清，造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和“连条”现象。采用电子束蒸发，行星机构在沉积薄膜时均匀转动，各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处，各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。采用磁控溅射镀膜方法，由于沉积电流和靶电压可以控制，也即是溅射功率可以调节并控制，因此膜厚的可控性和重复性较好，并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。Al膜厚度的测量可采用金属膜厚测量仪，它是根据涡流原理设计制造的无损测厚仪。根据工艺参数，我们制备了一批试样，样品经测试，溅射Al薄膜的平均厚度是1.825μm，电子束蒸发Al薄膜的平均厚度是1.663μm，均符合半导体器件电极对Al膜厚的要求(小信号为1.7±0.15μm;大功率为2.5±0.3μm。为了更进一步地观测膜厚及表面形貌，样品放入环境扫描电子显微镜philipsXL30-ESEM中进行观测，并根据视频打印机输出的SEM图片可以看出，电子束蒸发的膜厚分散度较大，即均匀性较差。想要了解更多，北京电子束镀膜仪价格，欢迎拨打图片上的电话吧！！！ 电子束蒸发镀膜机优点北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。北京电子束镀膜仪优点电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，比一般电阻加热蒸发热、 束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质 量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。 [2] 电子束蒸发的特点是不会或很少覆盖在目标三维结构的两侧，通常只会沉积在目标表面。这是电子束蒸发和溅射的区别想要了解更多，欢迎拨打图片上的电话吧！！！ 北京电子束镀膜仪供应商,泰科诺科技,北京电子束镀膜仪由北京泰科诺科技有限公司提供。“蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜设备,电子束蒸发镀膜机,CVD设备”就选北京泰科诺科技有限公司（www.technol.cn），公司位于：北京市昌平区回龙观镇建材城西路87号院8号楼新龙大厦A座12层1218室，多年来，泰科诺科技坚持为客户提供好的服务，联系人：朱经理。欢迎广大新老客户来电，来函，亲临指导，洽谈业务。泰科诺科技期待成为您的长期合作伙伴！ 产品：泰科诺科技供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
