北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
? 蒸发镀膜设备 Thermal Evaporator
产品参数Product Parameters:
型号Model: ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?ZHD300/ZHD400/ZHDS400
镀膜方式Coating Method: ? ? ? ?电阻蒸发/多源蒸发
腔室结构 Chamber Structure: ? 玻璃钟罩/立式方形前开门/方箱式前后开门
腔室尺寸Chamber Size: ? ? ? ? ? ??Φ300×H360mm/L400×W440×H450mm
加热温度 Baking Temp: ? ? ? ? ? ? 室温~300℃
旋转基片台 Rotating Substrate Holder: ? ? ? ? ?Φ100mm/120mm×120mm
基片台升降 Substrate Holder Lifting: ? ? ? ? ? ? ??无/手动调节升降高度0~80mm
膜厚不均匀性 Film Thickness Nonuniformity: ??基片台Φ80mm范围内≤±5.0%
蒸发源Evaporation Source: ? 2组金属源/2~4组金属源、2~4有机源(可选)
控制方式Operation Method: ? ? ? PLC
功率 Power: ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??≥3.2kW/≥8kW/≥10kW
其他选配 Other Options: ? ? ? ?蒸发电源/膜厚仪/冷水机/等
产品特点 Product Features:
1. 工艺成熟,性能稳定,使用维护成本低;
2. 功能强大,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸与分蒸;
3. 一体化设计,占地面积小,热蒸发镀膜机关,可单独或与手套箱集成使用;
4. 适用范围:用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜等,也可用于生产线前期工艺试验;广泛用于钙钛矿太阳能电池、OPV有机太阳能电池、OLED薄膜等研究系统等等。
热蒸发镀膜机关
北京泰科诺近20年行业经验,现货交付各种蒸发镀膜机,蒸发类产品市场占有率达80%以上;蒸发镀膜机可实现多元共蒸和分蒸,兼容有机蒸发与无机蒸发,功能强大,性能稳定.
ZHDS400手套箱蒸发镀膜系统 ?Thermal Evaporation System with Glove-box
产品特点 Product Features:
1. 工艺成熟,性能稳定,使用维护成本低;
2. 功能强大,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸与分蒸;
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