直线电机为直驱电机,无需中间连接机构,因此没有被隙,具有的动态响应性,能够达到极高的加速度及速度;反馈系统采用光学尺,能够达到很高的精度。单轴可配备多个动子,运动轨迹可程式化,电机尺寸、行程客制化设计;主要分为有铁芯系列、无铁芯系列;可提供XY、龙门、桥式等结构。
产品特色与应用
◎特点 :
●X-Y平台
●整合位置感测器可做闭回路控制
●采用空气轴承故无摩耗
●磁场不外露,不影响周围设备
●无温升问题
●可倒吊安装
●定子面积可达1000x1000mm
◎应用:
●晶圆检测设备
●点胶机
●PCB钻孔机
●PCB检测设备
●光学元件检测
●电子元件检测