LS152 真空镀膜在线测厚仪
使用说明书Ｖ1.0
镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度（ 光密度 = LOG（1/透过率））和镀层厚度成正比例关系，镀层厚度越厚，光密度值越大，透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。
真空镀膜在线镀层厚度检测装置，适用于各类镀膜生产线上，通过选择监控产品的可见光透过率，红外线透过率和光密度值（OD），来达到在线检测和分析产品镀层厚度，镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产量，如有问题，及早发现及调整工艺，提高产品，降低产品的废品率。
此仪器提供双路的 RS485 通讯接口，标准的MODBUS 通讯协议，方便和PLC，单片机，人机界面，组态王，电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据，实现控制自动化（闭环控制）。
一：真空镀膜在线测厚仪的参数
1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择：
红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强）
可见光：白光 380nm-760nm
绿光： 530nm
2.透过率测量精度：优于±1%
3.透过率分辨率：0.005%；
4.光密度测量范围：0.00 OD --- 5.00 OD
5.光密度的分辨率：
0.01 for 0.00 - 3.00 OD
0.05 for 3.00 - 5.00 OD
6.测量点数：36 点
7.相邻探测头之间距离：小70mm
8.发射接收探头之间距离：20mm
9.温度范围： -20°C --- +70°C
10.数据刷新周期：300ms
11.仪器整体尺寸： 100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制)
12.需真空法兰电极芯数：6 根（不配电脑监控），9 根（配电脑监控）
13.电源：220V AC/50Hz
14.通讯：双路RS485
二：真空镀膜在线测厚仪的特点
1. 一体化设计，结构简单，现场安装维护方便
2. 防尘设计
对于镀膜过程中的粉尘（如镀铝过程）会影响测量光学系统，该系统采用防尘设计，粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘，只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可，方便维护。
3. 真空室的电子设计
真空环境中，和大气环境下有众多的区别，经过多次真空试验和现场应用，成功解决真空中电子器件的稳定性问题。
三：真空镀膜在线测厚仪的组成
1：设备分为三部分：探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统。探测系统主要包括光源，接收器，控制器和支架（测试点的多少，根据用户要求定制，测试点数一般是3 的整数倍，如3、6、9、12、15 等）。
人机交互设备
7 寸LCD 人机交互界面，显示各个测试点的透过率和光密度数据。实时数据，柱状图显示方式，上下限，基准值设置及显示，越限声音报警。
电脑实时监控系统（选配）
所有测试点数据的实时监控。包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线，越限报警等。透光率与光密度的显示可自由切换。历史数据存储，分析和报表功能。整卷膜在其对应长度上，都有数据记录和分析。如果已知镀膜机的运行速度，可以出报表分析整卷膜在对应长度的光学指标，做到整卷膜镀层厚度和均匀性可追溯。
2：真空镀膜在线测厚仪示意图。
此设备可以实现和 PC，人机界面，PLC，单片机，镀膜机控系统通讯，实现监视和控制。
3：在线测厚仪的结构图
以下是三个测试点的在线测试仪器的结构图，测试点不同，只是在长度方向上有所不同，高度和宽度方向没有变化。
4：真空镀膜在线测厚仪现场安装图
四：注意事项
1：设备所用电线说明
电源线型号：RVV 3*0.75 mm2 三芯非屏蔽 挤黑
内芯颜色：
棕色(红色) : 直流电正极
蓝色(黑色): 直流电负极
黄色 : 接地线
通讯线型号：RVVSP 2*0.5mm2 屏蔽双绞线 挤黑
内芯颜色：
棕色 : RS485+
蓝色 : RS485-
屏蔽层 : 接地
2：开机自校准
仪器具有开机自动校准的功能，设备开机时，发射接收探头之间不能放入任
何东西。否则不能完成自校准，测试数据出现不准确或错误。如果已经装好了膜，
在膜上，发射接收器的对应位置，开一个孔，让发射光无阻挡通过，也可完成自
动校准的功能。
五：服务
服务热线：
制造商：深圳市林上科技有限公司
网址: www.lstek.cn
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