电子束蒸发设备及优化工艺参数北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。电子束蒸发沉积电子束蒸发设备及优化工艺参数选用CHA-600型电子束蒸发台。它主要由真空镀膜室、真空系统和真空测量仪器的一部分构成。真空镀膜室主要由钟罩、球面行星转动基片架、基片烘烤装置、磁偏转电子枪、蒸发档板及加热装置等构件所组成;真空系统主要由机械泵的冷凝泵组成，电子束蒸发沉积，选用冷凝泵可以更容易地抽到高真空状态，避免了油扩散泵返油而产生污染真空室的现象;用离子规来测量真空度。坩埚选用石墨坩埚，避免了坩埚与Al反应生成化合物而污染Al膜，坩埚的位置处在行星架的球心位置，从而保证成膜厚度的均匀性。蒸镀过程中膜厚的测量选用石英晶体膜厚监控仪。电子束蒸发镀Al的典型工艺参数为：真空度：2.6×10-4Pa;蒸发速率：20—25A/s;基片温度：120°C;蒸距：1125px;蒸发时间：25min;电子枪电压：9Kv;电子枪电流：0.2A。想要了解更多，欢迎拨打图片上的电话吧！！！ 电子束蒸发使用安全规范? 北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。电子束蒸发沉积电子束蒸发使用安全规范??1、?实验前确认事项? A、开启液氮；? B、冷却机水箱是否具有足够的水。?2、?装样? A、?拧开样品台上的四个螺母，断开冷却水管，电子束蒸发沉积，取出样品台；?B、?使用乙醇擦拭样品台与腔体的接口；?C、?装样；? D、?把样品台放入腔体，拧紧样品台的螺母，电子束蒸发沉积，接上冷却水管。?3、?开机，抽真空? A、打开总电源，开启冷却水机；? B、打开电脑操作软件，启动分子泵以及机械泵。?4、?除气? A、?待腔体内气压10-3pa（时间允许情况下真空度尽量 低）；? B、?打开面板电源；?C、?HV降至0V；? D、?CoM设置为Filament?Current;?E、?Pocket?1设置为Enable；? F、?逐渐提高Filament?Current至1A，注意不要使真空度降低 过快；? G、?将Filament?Current降至0，关闭Pocket?1。? ? 5、?镀膜? A、?HV升高至2?kV；? B、?CoM设置为HV?power；? C、?逐渐提高其中HV?power（视工艺参数而定），同时注意不要使 真空度降低过快；? D、?打开蒸发源挡板，稳定5分钟；? E、?打开样品台挡板，正式镀膜，记录镀膜开始时间；?F、?关挡板，记录结束镀膜时间，降低HV?power至0?w，然 后降低HV至0?V（注意降低的顺序不可颠倒）；?G、?冷却30分钟。?6、?取样? A、?关闭分子泵以及机械泵，关闭冷却水机；? B、?待分子泵转速2000rpm，若电磁阀为自动开启需手动 开启，拧开样品台螺母，电子束蒸发沉积，通入氮气至样品台可取出（勿正对玻璃观察窗）；? C、?断开冷凝水管，取出样品台，取样；?D、?将样品台放入腔体，接上冷凝水管。?7、?关机? A、?关闭总电源；? B、?关闭计算机（勿忘记关闭电磁阀）想要了解更多，欢迎拨打图片上的电话吧！！！电子束镀膜属于蒸镀还是溅射？北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。电子束蒸发沉积1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理的气相沉积（PVD）的工艺方法。2.蒸发镀主要包括：电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。3.您所说的E型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。4.S枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶，阴极靶材为环状锥形，安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场，其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动，电子流密度很大，在靶面附近产生很强的非弹性碰撞，电离几率很大，形成很强的等离子体。想要了解更多，欢迎拨打图片上的电话吧！！！ 电子束蒸发沉积、北京泰科诺(推荐商家)由北京泰科诺科技有限公司提供。电子束蒸发沉积、北京泰科诺(推荐商家)是北京泰科诺科技有限公司（www.technol.cn）今年全新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取联系人：朱经理。 产品：北京泰科诺供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
