? ??湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，100级无尘车间，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或 电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。 均有自定规格，但普遍依据美国联邦政1府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E， 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如，1级、10级、100级无尘室z大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下，台州无尘车间，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下，无尘车间生产，密度不大于35颗/立方英尺)。检测标准：1..噪声的检测。2.照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。3.振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。4.温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，无尘车间，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。5.总风量和新风量的检测。 产品：通利净化供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
