电子束可以很容易的做到几千瓦级的输出,而激光器的一般输出功率在1 kW~5 kW之间。电子束加工的功率能达到激光的数倍,其连续热源功率密度比激光高很多,可达1×107 W/mm2。同时比起激光15%的能量利用率,电子束的能量利用率要高很多,可达到75%。激光在理论上光斑直径可达1 nm,但在实际应用中一般达不到。而电子束则可以通过调节聚束透镜的电流来对焦,束径可以达到0.1 nm。因而可以作到极细的聚焦。加工出的产品粒度高,沈阳真空设备,纯度高,性能更优越。
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