光刻机可以说每个部件都是科技含量很高，步步困难重重。 瓶颈主要集中在透镜、掩膜版、光源、能量控制器等。 下面简单单介绍光刻机的结构和工作原理： 光刻机的光源有：激光，紫外光、深紫外光、极紫外光。现在技术是极紫外光。 下图是以激光为光源的光刻机简易工作原理图： 在制造芯片时，首先在晶圆（硅晶片）表面涂光感胶，掩膜版，再用光线透过掩模版（相当于芯片电路图纸的底片）照射硅片表面，被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶，电路图就印到硅片上。 此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。 掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像LCD，PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。在刻画时，采用步进机刻画(stepper)，其中有电子束和激光之分，激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画，边缘起点5mm，与电子束相比，其弧形更逼真，线宽与间距更小。硅片上有了电路图的图样后，就轮到刻蚀机登场，刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工，在硅片表面雕刻出晶体管和电路。 芯片主要是精度要求高。纳米精度是什么概念呢？是我们肉眼无法分辨的，大概相当于一根头发丝的5000分之一纳米细小。 光刻机几个关键部件： 光源：必须稳定、高质量地提供指i定波长的光束。 能量控制器：就是电源。电源要稳定、功率要足够大，否则光源发生器没办法稳定工作。大、稳、同时要考虑经济性能。耗电太高，客户就用不起。 苏州掩膜版- 苏州制版(图)由苏州微麦光电有限公司提供。苏州掩膜版- 苏州制版(图)是苏州微麦光电有限公司（www.szphotomask.com）今年全新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取联系人：叶佳。 产品：苏州制版供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
