磁控溅射的种类很多,按所用电源分,可以分为直流磁控溅射、射频磁控溅射、中频磁控溅射。直流磁控溅射所用的电源是直流高压电源,通常在300~1000V,沈阳真空设备采购,特点是溅射速率快,造价低,后期维修保养便宜。射频磁控溅射所用的射频电源的频率通常是13.56MHz,可以解决直流磁控溅射不能溅射绝缘靶材的问题。中频磁控溅射常用于反应溅射,沈阳真空设备哪家好,来制备金属化合物薄膜,在腔体中除了氩气外,另外加入少量反应气体。
温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同,泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器,低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。 ?类型低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。①注入式液氦低温泵:主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。磁控溅射镀膜的特点:磁控溅射镀膜技术通过磁场的加入,改变并延长电子的运动轨迹,使其能与氩气充分的碰撞,电离出更多的Ar+轰击靶材,从而提高了溅射速率;受到正交电场和磁场共同作用的电子,沈阳真空设备,在能量基本耗尽时,才沉积到基片上,避免了基片的温度上升。这就造就了磁控溅射的两大优点:溅射速率高,沈阳真空设备价格,基片温度低。另外,通过磁控溅射工艺得到的薄膜与基片的附着力强,薄膜的牢固度很强。 沈阳真空设备-诺思【质量到位】-沈阳真空设备采购由沈阳诺思真空技术有限公司提供。沈阳诺思真空技术有限公司(tcvac.com)坚持“以人为本”的企业理念,拥有一支敬业的员工队伍,力求提供好的产品和服务回馈社会,并欢迎广大新老客户光临惠顾,真诚合作、共创美好未来。诺思真空——您可信赖的朋友,公司地址:抚顺经济开发区太平洋工业城规1区28A号地块,联系人:王经理。 产品:诺思真空供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单