真空镀膜过程的均匀性到底多重要？真空镀膜过程非常复杂，由于镀膜原理的不同分为很多种类，仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的真空镀膜，影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。薄膜均匀性的概念：1、厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位，约为100A)，真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性：就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。3、晶格有序度的均匀性：这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，具体见下。主要分类有两个大种类：一、对于蒸发镀膜：一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。厚度均匀性主要取决于：1、基片材料与靶材的晶格匹配程度；2、基片表面温度；3、蒸发功率，速率；4、真空度；5、镀膜时间，厚度大小。组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。晶向均匀性：1、晶格匹配度;2、基片温度;3、蒸发速率. 真空镀膜机中电磁控制的发展真空镀膜机在现在对产品的表面处理上具有的优势还是比较明显的，这种镀膜机械比起其他的表面处理设备来说，在加工方面，本身是需要在真空的环境中进行的，这样的镀膜方式就把外界的一些影响因素给“屏蔽”了，这是这种真空镀膜机的一个优势之处。而对于真空镀膜机械来说，目前的电路的发展也十分迅速，很多电子化的产品也被运用到电路当中，也使得这些机械逐渐发展成为了电动化、自动化的设备。其中溅控溅射镀膜机就是比较好的一类代表，作为一种装置来说，它也是体现出真空镀膜技术手段的代表，利用磁力进行控制，通电产生的电磁效用等都对镀膜技术进行辅助。可以说是目前表面处理技术中值得关注的一类，而电磁控制的镀膜机械的产生对现在的镀膜设备来说，提高了镀膜时候膜层的粒子量，这是这种镀膜机械的主要运用了。真空镀膜机的特点真空电镀即真空蒸发镀膜﹐其原理是在高度真空条件下(1.3×10-2~1.3×10-1Pa)使金属铝片受热蒸发并附于(塑料)工件表面﹐形成一层金属膜的方法﹒真空镀膜设备真空电镀机真空电镀的特点:1、真空镀膜所获得的金属膜层很薄(一般为0.01~0.1um),能够严格生产出啤件表面的形状2、工作电压不是很高(200V)﹐操作方便﹐但设备较昂贵﹒3、蒸镀锅瓶容积小﹐电镀件出数少﹐生产效率较低﹒4、只限于比钨丝熔点低的金属(如铝﹑银﹑铜﹑金等)镀饰﹒5、对镀件表面质量要求较高﹐通常电镀前需打底油来弥补工件表面缺陷﹒6、真空镀膜可以镀多种塑料如﹕ABS﹑PE﹑PP﹑PVC﹑PA﹑PC﹑PMMA等﹒</p 产品：至成真空科技供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
