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主营产品:真空镀膜设备,中频离子镀膜设备,多弧离子镀膜设备等

[供应]真空离子镀膜设备厂家-至成镀膜设备供应-惠州离子镀膜设备

更新时间:2019/11/6 12:32:10
真空离子镀膜设备厂家-至成镀膜设备供应-惠州离子镀膜设备







采用PVD镀膜技术镀出的膜层有什么优势采用PVD镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。PVD膜层能直接镀在不锈钢、硬质合金上、钛合金、陶瓷等表面,对锌合金、铜、铁等压铸件应行化学电镀铬,然后才适合镀PVD。PVD镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法,它能够制备各种单一金属膜(如铝、钛、锆、铬等)、氮化物膜(TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),以及氧化物膜(如TiO等)。PVD镀膜膜层的厚度为微米级,厚度较薄,一般为0.1μm~5μm,其中装饰镀膜膜层的厚度一般为0.1μm~2μm,因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能,并能够维持工件尺寸基本不变,镀后不须再加工。多弧离子真空镀膜机镀膜技术具有以下特点:可以任意安装使薄膜均匀。外加磁场可以改善电弧放电;使电弧细碎;旋转速度加快;细化膜层微粒;对带电粒子产生加速作用。金属离化率高,有利于薄膜的均匀性和提高附着力,是实现离子镀膜的良好工艺。一弧多用,既是蒸发源,又是预轰击净化源和离化源。 真空镀膜的膜层厚度如何测量?在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精准度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。光学监控是高精密镀膜的的优选监控方式,这是因为它可以更精准地控制膜层厚度(如果运用得当)。精准度的改进源于很多因素,但根本的原因是对光学厚度的监控。真空镀膜机磁控溅射主要工艺流程:1、基片清洗,主要是用蒸汽清洗,随后用乙醇浸泡基片后烘干,以去除表面油污;2、抽真空,真空须控制在2×104Pa以上,以保证薄膜的纯度;3、加热,为了除去基片表面水分,提高膜与基片的结合力,需要对基片进行加热,温度一般选择在150℃~200℃之间;4、Ar气分压,一般选择在0.01~1Pa范围内,以满足辉光放电的气压条件;5、预溅射,预溅射是通过离子轰击以除去靶材表面氧化膜,以免影响薄膜质量;6、溅射,Ar气电离后形成的正离子在正交的磁场和电场的作用下,高速轰击靶材,使溅射出的靶材粒子到达基片表面沉积成膜;7、退火,薄膜与基片的热膨胀系数有差异,结合力小,退火时薄膜与基片原子相互扩散可以有效提高粘着力。真空镀膜机磁控溅射镀膜的特点:薄膜纯度高,致密,厚度均匀可控制,工艺重复性比较好,附着力强。依据溅射源的不同,真空镀膜机磁控溅射有直流和射频之分,两者的主要区别在于气体放电方式不同,真空镀膜机射频磁控溅射利用的是射频放电,陶瓷产品使用的是射频磁控溅射镀。</p 产品:至成真空科技供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单
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