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电子工业用氢气检测指标 GB/T 16942-2009
检测项目 检测指标
氢气(H)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.9999 99.9997 99.9995
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < 0.5 2.0 2
氧(O2)含量(体积分数)/10-6 < 0.2 0.2 0.5
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < 0.05 0.2 0.5
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 < 0.05 0.5
总烃(以甲烷计)含量(体积分数)/10-6 < 0.05 0.2 0.5
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 < 0.2 0.2 0.5
总杂质含量(体积分数)/10-6 ≤ 1.0 2.8 4.5
颗粒 供需双方商定 供需双方商定 供需双方商定