水环真空泵在半导体行业中使用半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体,液环式真空泵,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项: 1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压:半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;假设是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗,sk液环式真空泵,并在必要的时候设置过滤设备。。 1、螺杆真空泵运转时,在电动机的驱动下通过曲柄连杆机构的作用,纳士液环式真空泵,使气缸内的活塞作往复运动。 2、当活塞在气缸内从左端向右端运动时: 由于左腔体积不断增大,空间的压强不断的降低,当空间内的压强被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽容器内的气体经过吸气阀不断地被抽进左腔,此时正处于吸气过程。 3、当活塞达到右侧位置时气缸左腔内就充满了气体,接着活塞从右端向左端运动,此时吸气阀自动关闭。 4、气体随着活塞从右往左运动而逐渐被压缩,当气缸内的气体达到排气压力时,此时排气阀被打开,气体被排出,完成了一个工作循环。 5、当活塞在从左端向右端运动时,重复上述循环,直到被抽容器达到某一平衡压力为止。 6、在泵中,吸气阀和排气阀是非常重要的部件且是易损部件,它们工作的好坏直接影响往复泵的极限压力、抽气速率、功率消耗以及运行的可靠性。 螺杆真空泵它具有寿命长、能耗低、无油污染等特点,被广泛用于制药、化工等行业,是一种新型的抽气设备,2bw液环式真空泵,能很好地对空气中的尾气、废气进行排除,保证空间的干净清洗程度,非常受大家的欢迎.博富来这款真空泵采用统一的耐腐蚀设计,铝青铜叶轮提高了泵的耐腐蚀性,如采用不锈钢材质则可使用于更为苛刻的应用环境;另外的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV系列真空泵在其性能范围内效率稳定可靠!.博富来这款真空泵采用统一的耐腐蚀设计,铝青铜叶轮提高了泵的耐腐蚀性,如采用不锈钢材质则可使用于更为苛刻的应用环境;另外的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV系列真空泵在其性能范围内效率稳定可靠!.博富来这款真空泵采用统一的耐腐蚀设计,铝青铜叶轮提高了泵的耐腐蚀性,如采用不锈钢材质则可使用于更为苛刻的应用环境;另外的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV系列真空泵在其性能范围内效率稳定可靠! 液环式真空泵-博富来真空泵-纳士液环式真空泵由淄博博山博富来制泵有限公司提供。淄博博山博富来制泵有限公司(www.bofulai.com)实力雄厚,信誉可靠,在山东 淄博 的真空泵等行业积累了大批忠诚的客户。公司精益求精的工作态度和不断的完善理念将引领博富来真空泵和您携手步入,共创美好未来! 产品:博富来真空泵供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单