2BE系列水环真空泵，自带气水分离器，设有多位置进排气口，泵盖上增设了排气阀检修窗盖，装配和维修更加方便。我公司真空泵均经过检测中心严格检查测试，性能优越可靠。2BE系列水环真空泵，自带气水分离器，设有多位置进排气口，无油真空泵配件，泵盖上增设了排气阀检修窗盖，装配和维修更加方便。我公司真空泵均经过检测中心严格检查测试，性能优越可靠。 水环真空泵在半导体行业中使用半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，无油往复真空泵，测试设备，真空清扫等等键合工序，立式无油真空泵，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项： 1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，河源无油真空泵，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。 水环式真空泵安全性好，一般矿井都要求较高的抽放负压，种类很多，所以使用较广泛，其中2BV式的用的比较多，但是它对泵油的使用有要求，下面就给大家介绍一下它对泵油的要求： 一、设备应用泵油的原因： 在工作过程中设备气体在压缩的过程中等温的，所以在压缩和抽吸气体时，不会发生，所以使其应用更加广泛。 二、2BV水环式真空泵对泵油的要求： 1、一定的饱和蒸汽压： 无油真空泵配件-博富来真空泵-河源无油真空泵由淄博博山博富来制泵有限公司提供。无油真空泵配件-博富来真空泵-河源无油真空泵是淄博博山博富来制泵有限公司（www.bofulai.com）升级推出的，以上图片和信息仅供参考，如了解详情,请您拨打本页面或图片上的联系电话，业务联系人：闫炳雷。 产品：博富来真空泵供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
