MPS-10X型多功能型探针台
产品简介 ：
在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
&160在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试得探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧，功能实用，成本较低得简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；
主要技术指标：
结构紧凑，功能实用，价格实惠
可用于12寸以内样品测试
兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降
漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）
精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计
应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
1微米以上电极/PAD使用
模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
技术参数选型：
规格/参数
型号 MPS-4 MPS-6 MPS-8 MPS-12
电力需求 220VC,50-60HZ
样品台 尺寸 4寸 6寸 8寸 12寸
行程 XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧
移动精度 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
背电极测试功能 可以引出电极 可以引出电极 可以引出电极 可以引出电极
定制模块 可定制位移行程和精度 可定制位移行程和精度 可定制位移行程和精度 可定制位移行程和精度
探针调整座 XYZ行程 13mm-13mm-13mm
机械精度 标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
漏电精度 10pA-100fA（配置屏蔽箱）
安装方式 直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附
接口形式 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC
光学成像 放大倍数 7-200倍（可升级到720倍）
CCD像素 500W（可升级200W）
中心距离 140mm，升降范围270mm，总高度350mm
显示器 8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜）
可选附件 加热卡盘 高低温卡盘 镀金卡盘
隔振支架 积分球测试选件 屏蔽箱
射频测试附件 导入光源支架 波长单色可调光纤光源（测光电流）
显微镜调节手动/电动调节装置 激光切割显微镜 转接头配件
