高纯气体输送系统的设计施工及瞥理高纯气休的翰送系统应该包括制造厂的 充灌葬里 ， 贮存容器 钥瓶或贮带 ， 运油描 车 ， 直到使用单位贮存设备、 传翰管道系娜直 到炉前管路 ， 亦即凡与高纯气体相接触的一 切设备、 管路 、 仪表 、 阀 门等 因 为高纯气体 在制取 以后 或纯化提纯 以后 的任何沾污或 输送系统管路阀门的 任何微 小泄 漏 ，天燃气管道氮气置换， 即使是 瞬时的恶化 ， 也是不 准许的 一 且沾 污要 回 复原状就相 当困难 如果是管路受到污染 回 复原状则 需相 当长时 间， 并导致庞 大 摄失 因此人们越来越重视提高高纯气体供应的每 一个环节的可靠性 和 质 监视 在 国外 ， 除 了改进空分装置直接 制取高纯 气体外 、 还着 重开发了大容童小体积的纯化装 置 随着大规模集成 电路集成度 的提高又 加 速 了各种气体输送系统的高沽净处理技术方 面做了大量工作 ， 形 成系列 产 品 诸如控制 配管 、 接头 、 阀门的 内表面粗糙度 减少 内表 面积 ， 减少使用另件的 漏 泄及 死 角 ， 改进和 提高洗净方法 ， 加强施工现场尘埃管理 ， ，‘减少 施工 时污垢物的混 人等 总之 ， 对高纯 气体 输送系统的设计 ， 施工及管理 日趋严格化 ， 引 起 人 们 普 遍 关 注 ， 我 们 借 鉴 下 面 一 张 关 于可以着出以污染为原因的图率缺陷高达 六成以上 ， 作为污染 的 内容主要是尘块引越 的断路和短路以及其它杂质引起户勺绝缘低劣 等 因此进行高纯气体翰送系统的设计施工 以及加强对这个系统的管理是理所 当然 的事 情 板国 内、 随着 电子产 品 的更新换狡和清 净技术的广泛应用为高纯气体配套的产品和 系统的管配件阀门已 不是不可能的事了 。 然 而要认真解决好高纯气 体的贮存 ， 输送技术 上的难题 ， 寻求更合理的供气方式加速老管 网的改造 ， 严格高纯气体输送系 统的管理 ， 找 认为还有 “ 再谈” 和交流的必要‘ 实验室气路安装3（1）性气体把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，管道置换氮气，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，管道氮气置换，DCS，ClF3 。（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， C4F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，燃气管道氮气置换，CHF 3等。（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在天花板下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。 管道置换氮气-管道氮气置换-念龙化工(查看)由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（www.hnnlhg.com）位于郑州市二七区马寨镇东方路7号院内。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前念龙化工在工业气体中享有良好的声誉。念龙化工取得商盟认证，我们的服务和管理水平也达到了一个新的高度。念龙化工全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。 产品：念龙化工供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
