实验室气路安装5气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，管道氮气置换，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。 实验室气路安装4不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中***为严格，一般对于P级要求（×10 -9级）制程气体的输送，管道氮气置换，均要求采用SUS316材质的EP (Electronic Polishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用SUS316材质的BA （Bright Anneal）管材。SUS316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是经过了溶解、压延（Hot/Cold Rolling）、溶接(Welding)、热处理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等复杂过程，其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其Rmax≦0.7mm。1所有气体管路均由高质量、完全退火的无缝不锈钢管(BA及)制成。铜管仅在气体管路末端使用，对气体的纯度要求不太严格。(例如通风橱).2、气体安装管道不得敷设电缆和导线。3.气体，如需要与其他气体分开引入。如果氢气管道与其他可燃物气体管道平行敷设，其间距不得小于0.M交叉敷设时间间隔不得小于0.25米，分层敷设时氢气管道应位于上方.4.压缩空气有净化装置，燃气管道氮气置换，用于过滤管道上的杂质和水分。净化装置需要并联连接，管道置换氮气，并通过单独的阀门分开，以便于过滤装置的维护。5.高纯度气体管路的连接是无缝焊接。接头配件只能在连接到阀门或调节装置时使用。6、每个实验室应有单独的控制阀、减压阀和压力表。7.应为通向工作台的气体管路安装单独的控制阀。各种气体控制阀应均匀排放在工作台上。建议在氨气管道前安装气体净化装置。8、每隔1.5米左右，气体管路需要一个支架。此外，根据气体管路弯曲半径，设置适当的支架位置。必须支持所有弯曲。燃气管道安装管道的所有支架均应镀锌防腐处理。科研气体管道材料和连接1.气体管道纯度小于99.99%的应为10#或20#无缝钢管(内表面镀锌或净化处理)和铜管，镀锌管道带有螺纹。2.总杂质含量s 10-100ppm的气体管道采用304不锈钢光亮退火管(304BA) 、304不锈钢管净化处理(304AP)和紫铜管，管道通过焊接连接，可以使用对焊、承插焊或套管焊。3.总杂质含量s 1-10ppm的气体管道采用316升不锈钢光亮退火管(316LBA) 和304不锈钢电抛光管(304EP)管道连接采用焊接、内壁无疤对焊和高纯气弧焊。4.对于总杂质含量s1ppm的高纯度气体管道， 必须使用316升不锈钢电抛光管(3I6LEP) .管道连接应采用焊接、内壁无疤对焊和高纯氙气保护焊在洁净室进行.例如， 管道PO 2、PH 2、PN 2、arr、He和N 2是不锈钢316厘泊管道。CD A采用不锈钢304BA管。 念龙化工(在线咨询)-管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（www.hnnlhg.com）在工业气体这一领域倾注了诸多的热忱和热情，念龙化工一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创。相关业务欢迎垂询，联系人：张经理。 产品：念龙化工供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
