高纯气体输送重视配管 防尘 ， 做好配管施 工 的 清沽管 理 ， 对 防尘的措施可 能想出多种 ， 必须从实际 工作做起 省先在切 断 ， 洗净 ， 焊接后等作业 结束时利用塑料薄膜或盲盖 封好 ， 而直至使 用时再次打开 不要放在灰尘发生的地方或 室外 切断后切屑婆立 即去除 阀门的开闭 要迅速 ， 一般应 以 关 闭状态 每 天 工 作结束 应将现场打扫干净 ， 尽盘防止尘埃侵人 获 配管的试验 、 检查和分析 配管连接完 工 以 后 ， 终工序之 一 的耐 压试验和气密性试验 以及检查 和分析 ， 其一 ，般程序如图 所示 飞 气密性和耐压试验基本应为同时并用 试 验 ， 试验条件以气密性试验的 小时放置及 耐压试验的设计压力 倍进行 同时进行 用检漏液 肥皂泡 试验的发泡确认 另外 ， 通过温度补偿的压 降残余压力 率 的标 准 即 以上 为合格 关于配管洁净度 尘埃 测定应为利用 实 际气体 滁外 的测定 ， 基本上 实施设备连 接取出用初级侧阀门总数的 测定 ， 求 出 平均值以判定是否合格 但在阀与测试仪器 连接 中间应连接扩散管以避免尘埃计数器损坏。 至于和含氧量及其它杂质的分析 ， 在有 纯化装 的场合应 以 纯化器 出 口 指标 为基准 在没有现 场分析仪的 ， 可通 过取样 瓶取样送验 。 但取样瓶必须沽净并在充灌时 予叔 充分里换 遴免任何形 式的沽污 ， 以 确 保其实际值 全部试验合格后 ， ’ 还应对配管介质标注 名称和流 向 一般不锈钢配管不涂 漆 ， 但非 不锈钢支承物应涂漆防锈后交付使用验收 三 、 高纯气体输送系统的管理 高纯气翰送系统的建立不仅耗费较大 的 投资和精力 ， 更重要 的它对生产工艺和 产 品 合格率的影响是 巨大的， 要使高纯化系统持 久地 发 挥 效 益 ， 必 须重视 和 加 强 对 它 的 管 理 。 有条件的 ， 建立系统的气体分析盘或 监控盘 ， 用以监视系统 的流食 ， 压力 ， 礴点及 含氧盈 及 凡 以 及装 置的工作 情况和 异 常报警 ， 以便有问题时及时发现 ， 及时调整 建立和健全值班记录制度 ， 对 系 统和 装 置运行工况进行记录 。 定期对系统终端 使用端 进行 {管道氮气置换}1、氮气置换设备的氮气衔接收。氮气衔接收是由厂家定型出产，管线直径为25毫米，它的耐压强度不6.4兆帕；在管的两头设有疾速接头。参阅规范规则和安全操作需求，管线描绘长度为15米，管线与管线之间由疾速接头衔接，在氮气衔接收线与氮气瓶衔接端设有压力表、单向阀（在替换氮气瓶时避免倒流）和闸口（是单向阀的弥补，当单向阀失掉作用时，操作此阀），由疾速接头衔接氮气瓶出口。2、氮气置换设备的衔接收。衔接收的两头别离与事端槽车的液相管和处置事端集结来的空载槽车液相管衔接。管线是由厂家定型出产，直径为50毫米，它的耐压强度不6.4兆帕。参阅规范和安全操作需求，管线描绘长度为30米，为便于实地操作及管线的带着，描绘每10米长的管线3根，管线与管线之间、管线与槽车之间均由疾速接头衔接。3、氮气置换设备的异径疾速接头。加工二个50mm变25mm的异径疾速接头。以备事端槽车因，气相管被液态吞没时运用。4、氮气瓶。用于置换的氮气选用纯度为99.5%的一般氮气，气瓶规范为GB3864—83，管道氮气置换，容积为40升，压力为12±0.5Mpa。5、氮气置换设备的槽车。当时，遍及运用的汽车槽车主要是国产的，还有必定数量由国外进口的。（1）性气体把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，燃气管道氮气置换，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，管道氮气置换，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， C4F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl，天燃气管道的氮气置换， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。 管道氮气置换-念龙化工由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（www.hnnlhg.com）在工业气体这一领域倾注了诸多的热忱和热情，念龙化工一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创。相关业务欢迎垂询，联系人：张经理。 产品：念龙化工供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
