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主营产品:光电材料,光刻掩膜版

[供应]光刻版-光刻版(图)

更新时间:2020/7/9 10:23:01
光刻版-光刻版(图)
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!光刻光刻胶中的感光剂发生光化学反应,从而使正胶的感光区、负胶的非感光区能够溶解于显影液中;显影(development)经显影,正胶的感光区、负胶的非感光区溶解于显影液中;硬烘干也称坚膜。显影后,硅片还要经过一个高温处理过程,主要作用是除去光刻胶中剩余的溶剂,增强光刻胶对硅片表面的附着力,同时提高光刻胶在刻蚀和离子注入过程中的抗蚀性和保护能力;



 在生产制造集成ic时,先在圆晶(硅芯片)表层涂光感胶,再用光源穿透掩模板(等于集成ic电路图纸的胶片照片)直射硅片表层,被光源照射的灯光效果胶会产生反映。自此用特殊有机i溶剂洗掉被直射或是未被直射的胶,电路原理图就印到硅片上。此全过程等于木工施工用墨斗施工放样、画线。硅片上带了电路原理图的样图后,就到刻蚀机出场,刻蚀机等于木工的锯子、斧子、木工凿、刨刀。刻蚀机按图工程施工,在硅片表层手工雕刻出三极管和电源电路。?光罩的制作过程1. 制作石英基板。空白基板通常为6英寸见方,厚度为0.25英寸。它由纯熔融石英制成,通常简称为石英。基板表面必须非常平坦且无缺陷。2. 沉积吸收层。在基板上是薄的吸收层,可以阻挡来自光刻机的曝光。3. 沉积光刻胶层。在吸收层的顶部是一层薄的光刻胶,暴露在光罩写入机(Mask Writer)之下。4. 写入。由光罩写入机完成,使用电子束曝光光刻胶,光刻版,将芯片设计的图案数据呈现在光刻胶上。5. 烘烤。烘烤曝光的光刻胶,要求在光罩上的每个点都温度均匀。6. 显影。 使用显影剂使光刻胶的图像显影,漂洗并干燥而不留下任何残留物。因为光刻胶图案在蚀刻工艺期间用作光罩,所以该显影步骤是关键的,因为显影中的任何不均匀性将导致终图案尺寸的不均匀性。7. 蚀刻。然后将显影的光罩放到到蚀刻机中,蚀刻机使用等离子体地蚀刻掉由写入和显影步骤带来的吸收剂材料。8. 剥离和清洁。将蚀刻好的光罩装入清洁机器中,清洁机器使用干等离子体或湿化学法剥离光刻胶。9. 测量。测量关键尺寸(CD)和图案精度,以确保它们符合客户规格。10. 检查。为了验证图案精度,将光掩模加载到Inspection机台中。如果发现缺陷,则对它们进行分类和必要的修复。   光刻版-光刻版(图)由苏州优版光电有限公司提供。“光电材料,光刻掩膜版”就选苏州优版光电有限公司(www.szphotomask.com),公司位于:苏州工业园区星湖街328号崇文路国华大厦B418室,多年来,苏州制版坚持为客户提供好的服务,联系人:马经理。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。苏州制版期待成为您的长期合作伙伴! 产品:苏州制版供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单
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