基本参数
X向量程：100mm
X轴检测方法：光栅传感器/分辨率：0.2μm
X轴测量速度：0.1,0.2,0.5,1mm/s，自定义
X轴直线度：1.2μm/100mm
Z向量程：320mm
轮廓部分精度：
Z1向量程：±2mm，±5mm
X轴精度：±（3+0.02L）μm
Z1轴精度：±0.3%f.s.
Z1轴量程与分辨率比例： 65536:1（16位）
Z1轴传感器类型：差动变压器，2段式
驱动方式及速度： X轴 Z轴 均为电动 4档,可自定义速度
粗糙度部分精度：
传感器量程范围：840μm/200μm
Z1轴传感器分辨率：13nm（840μm量程时）/ 3nm（200μm量程时）
测量重复性：±4%
线性精度： ±7%
截止波长：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
评定长度：λc X 3,4,5,6,7
