基本参数
旋转工作台：
回转精度：（0.025+6H/10000）μm
回转速度：4、6、8、10rpm
台面承载：25kg
回转直径：560mm
测量直径：280mm
轴承类型：气浮轴承
垂直轴（Z轴）：
立柱行程：480mm
检测深度：100mm小内径：35mm
垂直移动方式：电动
立柱直线度：0.3μm/100mm
水平臂（X轴）：
水平移动：165mm
突出量：25mm
水平移动方式：电动
检测器：
采集器件：圆光栅
圆周采样点数：16384点
传感器类型：电动传感器
传感器量程：±300μm
传感器分辨率：0.001μm
X向 Z向： 光栅传感器
产品特点
★ 进的补偿算法，对Ｚ轴精度进行补偿。
★ 可测量锥形柱体的锥度（小锥体）。
★ 气浮运动轴系，精度保持长。
★ 各轴系采用进口精密光栅计数。
★ 关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保持长久。
★ 采集控制系统，控制系统所有电路按军品标准设计、生产及验收。
★ 能在20±2℃的温度区间内稳定工作。
★ 软件自主研发，模块化设计使用户维护成本降至。
★ 配置灵活，可据根用户要求配置。
