基本参数 X向量程:100mm Z向量程:320mm 传感器范围:800μm 测量重复性:±1.5% 线性精度: ±3% 评定长度:λc X 3,4,5,6,7 截止波长:0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm 传感器量程范围:800μm/80μm 分辨率:12nm(800μm量程时)/ 1.2nm(80μm量程时) X轴及Z轴运动:电动 X轴及Z轴运动速度:4档,可选 返回速度:可自定义 测量方式:传感器移动式