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主营产品:真空镀膜设备,中频离子镀膜设备,多弧离子镀膜设备等

[供应]镀膜机-磁控多弧复合镀膜机-至成真空科技

更新时间:2021/6/20 10:22:38
镀膜机-磁控多弧复合镀膜机-至成真空科技







如何保养镀膜机才能寿命更长?真空镀膜机就是:蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。那么在使用的同时,我们怎么去保养他,爱护它,从而让他寿命更长呢?一般扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。方法是:用NaOH饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触NaOH溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。 真空镀膜机磁流体密封组件的安装真空镀膜机磁流体密封组件的安装与使用:密封组件安装与使用时应注意注意被装的密封组件与轴的同轴度要求、磁流体的注入量应适当、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理、密封组件泄漏时检查:1、注意被装的密封组件与轴的同轴度要求,借以保证密封间隙具有较小的偏心量。2、磁流体的注入量应适当,在保证各级密封间隙中具有足够量的前提下,不可过多地注入磁流体,以防抽空时多余的磁流体进入真空室内,污染真空室。3、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理,又应注意防止乙醇等清洗剂滴入磁流体密封组件内,以免引起密封组件的失效。4、如发现密封组件泄漏时应从如下几点进行查找:a、磁流体是否失效;b、连接法兰与组件内静密封圈是否受到损坏;c、极齿齿型是否与转轴接触产生干摩擦;d、转轴与密封组件是否连接不当产生同轴度移位;e、磁铁是否退磁等。真空镀膜机漏气检修真空电镀设备漏气问题我们应该如何进行检修呢?真空电镀设备漏气对于设备本身是有大的影响的,因此我们要及时的进行检修维护。1、要测试好真空室内气体密封性能的比例,确保气密性能够符合要求。2、然后检查真空镀膜漏孔大小、形状和漏气速度,分析出解决方案并且可以实施。3、要确认真空电镀漏气是真漏还是虚漏,因为在工件材料加热之后会在不同程度上产生一定的气体,有时候会误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,我们要排除这种情况。4、确定检测仪器小的检漏率和捡漏灵敏性,以大范围检测出漏气的情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。5、后还要避免真空电镀漏孔的堵塞,有时候因为操作失误,真空电镀在捡漏中,会有一些灰尘或液体等把漏孔给堵塞了,以为在那位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外的压强差异提高或会使漏孔不堵了,但是漏气还是会存在的。</p 产品:至成真空科技供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单
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