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在各式各样真空机械设备中，凡运用机械方法不断变更泵内呼吸容腔的容积而获得真空的泵常称机械真空泵。在机械真空泵中真空油不仅作获得真空的化学物质，而且仍在机械摩擦预制构件起润滑作用和致冷作用。 机械真空泵可分为往复式（或称活塞式）真空泵、机械增压泵和油封机械真空泵等。往复式真空泵常用于真空蒸馏、真空蒸发、真空浓缩和真空干燥等工艺。
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用于较高真空度的罗茨泵不能直接排大气，因此串联二级的罗茨泵仍需要一个机械泵或水环泵后级。罗茨泵串联机组，有两种配置方式，其一是罗茨泵—罗茨泵—机械泵；其二是罗茨泵—罗茨泵—水环泵。两种方式均是以一罗茨泵为主泵，而另一罗茨泵为前级，两罗茨泵抽速关系由经验确定
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前级泵的配置及抽速确定
主真空泵选定之后，如何配置前级泵，需遵守的原则是：
① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件；
② 抽走主真空泵产生的气体量；
③ 必须满足主真空泵进气口能工作的压力时所需的预抽时间要求。
不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。
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