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主营产品:真空镀膜设备,中频离子镀膜设备,多弧离子镀膜设备等

[供应]镀膜机-AF镀膜机厂家-至成真空科技

更新时间:2021/8/17 10:15:08
镀膜机-AF镀膜机厂家-至成真空科技







光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为哪些膜光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为:反射膜、增透膜/减反射膜、滤光片、偏光片/偏光膜、补偿膜/相位差板、配向膜、扩散膜/片、增亮膜/棱镜片/聚光片、遮光膜/黑白胶等。相关衍生的种类有光学级保护膜、窗膜等。光学真空镀膜机光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割;膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的;可以是透明介质,也可以是吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多。这是因为:制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,起表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫反射;膜层之间的相互渗透形成扩散界面;由于膜层的生长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各种向异性;膜层具有复杂的时间效应。 真空镀膜机磁控溅射主要工艺流程:1、基片清洗,主要是用蒸汽清洗,随后用乙醇浸泡基片后烘干,以去除表面油污;2、抽真空,真空须控制在2×104Pa以上,以保证薄膜的纯度;3、加热,为了除去基片表面水分,提高膜与基片的结合力,需要对基片进行加热,温度一般选择在150℃~200℃之间;4、Ar气分压,一般选择在0.01~1Pa范围内,以满足辉光放电的气压条件;5、预溅射,预溅射是通过离子轰击以除去靶材表面氧化膜,以免影响薄膜质量;6、溅射,Ar气电离后形成的正离子在正交的磁场和电场的作用下,高速轰击靶材,使溅射出的靶材粒子到达基片表面沉积成膜;7、退火,薄膜与基片的热膨胀系数有差异,结合力小,退火时薄膜与基片原子相互扩散可以有效提高粘着力。真空镀膜机磁控溅射镀膜的特点:薄膜纯度高,致密,厚度均匀可控制,工艺重复性比较好,附着力强。依据溅射源的不同,真空镀膜机磁控溅射有直流和射频之分,两者的主要区别在于气体放电方式不同,真空镀膜机射频磁控溅射利用的是射频放电,陶瓷产品使用的是射频磁控溅射镀。多弧离子真空镀膜机镀膜技术很多朋友问我关于多弧离子真空镀膜机真空技术方面的问题,当时给朋友解释了很多,今天至成小编为大家详细介绍一下:多弧离子镀是采用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是从阴极弧光放电放出的阴极物质的离子,这种装置不需要熔池,被蒸发的靶材接阴极,真空室为阳极,当触发电极与阴极靶突然瞬间接触时,就会引起电弧,在阴极表面产生强烈发光的阴极弧光斑点,斑点直径在100?m以下,斑点内的电流密度可达103~107A/cm2于是在这一区域内的材料就瞬时蒸发并电离。阴极弧光斑点在阴极表面上,以每秒几十米的速度做无规则运动,外加磁场用来控制辉点的运动轨迹和速度,为了维持真空电弧,一般要求电压为–20到–40V。多弧离子镀的原理是基于冷阴极真空弧光放电理论,该理论认为,放电过程的电量迁移是借助于场电子发射和正离子电流这两种机制同时存在且相互制约而实现的。在放电过程中,阴极材料大量蒸发,这些蒸汽分子产生的正离子,在阴极表面附近很短的距离内产生极强的电场,在这样强的电场作用下,电子以产生以场电子发射而溢出到真空中,而正离子可占总的电弧电流的10%左右,被吸到阴极表面的金属离子形成空间电荷层,由此产生强电场,使阴极表面上功函数小的点(晶界或裂痕)开始发射电子。个别发射电子密度高的点,电流密度高。焦耳热使温度上升又产生热电子,进一步增加发射电子。这个正反馈作用使电流局部集中。由于电流局部集中产生的焦耳热使阴极材料表面局部爆发性地等离子化,发射电子和离子,并留下放电痕。同时也放出熔融的阴极材料粒子。发射的离子中的一部分被吸回阴极表面,形成空间电荷层,产生强电场,又使新的功函数小的点开始发射电子。</p 产品:至成真空科技供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单
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