1. LED行业LED芯片主要采用的衬底材料是蓝宝石，在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高，普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后，表面不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。随着LED行业的发展，聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。
温度.对化学抛光的效率和表面质量有重要的影响.温度高抛光加速，但产生较多的气体，有可能产生气体缺陷.对于新配制的化学抛光槽液，南京化学抛光剂，温度不宜太高；若溶铝量达到平衡时操作温度宜高些.随着溶铝量的增加，化学抛光剂价格，要维持一定的抛光效率就要提高槽液的温度，如果槽液温度超过设定的上限温度105℃，仍不能得到满意的光亮度，应根据化验结果调整槽液浓度或相对密度.此外，还要注意保持槽液各处温度的均匀性.
（1）在连续性的批量化学抛光作业中，要获得比较稳定的抛光效果，就必须对受热易分解或消耗量大的溶液组分进行及时的补充和调整。何时补加，多长时间补一次，每次补多少，化学抛光剂销售，均要由具体情况（如抛光制件的多少，抛光溶液的组成等）酌情控制。直观的依据是抛光表面的光亮度变化情况，即依抛光效果来调整。
（2）化学抛光液的酸值一般应稳定在1.5~2.5之间。
（3）化学抛光作业中，抛光溶液中的铁含量呈累积性的增加。当铁含量过高时，抛光质量及工效均会相应降低。有文献指出，补加一些易损耗组分后，若溶液的抛光效果还不能明显改善时，即可认为该溶液中的铁含量过高。这时就应该弃旧换新了。比较成熟的经验，是抛光溶液中铁的含量不得高于35g/L
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