大连索尼卡仪表有限公司 郑丽明 http://www.nv2118.com）
用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，大流量分流器不易堵塞等特点。
【性能特点】
●量程：
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●准确度：
±1% F.S
●线性：
±0.5～1% F.S
●重复精度： ±0.2% F.S
●响应时间： 10S
●气压降： 0.01MP
●压力： 10MP
●工作环境温度： 5～45℃
●输出信号： 0～+5.00V 管道热式质量流量计
●电源： +15V 50mA -15V 200mA
●外形尺寸： 158.7*60*198，161.7*60*198可选
●重量： 2.5 Kg
●防爆等级： Exd II BT6
