真空镀膜设备真空泵的选择1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。 真空镀膜设备的正常工作条件真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。那么,真空镀膜设备的正常工作条件有哪些?我们一起来看看吧:1、环境温度:10~30℃2、相对湿度:不大于70%3、冷却水进水温度:不高于25℃4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外,真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。而且地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。真空镀膜机冷却配套冷水机的作用真空镀膜机冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机器的温度,使其工作达到、率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下,自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。因此,可以说冷水机是真空镀膜设备中非常重要的配套冷却设备,因为冷水机直接关系到真空镀膜机工作效果的好坏。真空镀膜机为什么要配套冷水机?这个要从真空镀膜工作原理查看:膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统,水温在5℃~30℃范围内调节控制,可以达到、率控制温度的目的。其冷却原理是:制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜机进行降温,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。</p 产品:至成真空科技供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单