半导体行业CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是可以在整个硅圆晶片上平坦化的工艺技术。

化抛剂是一种浅色浑浊液体,主要成分为不锈钢蚀刻剂、缓蚀剂、光亮剂。
不锈钢化抛全称为不锈钢表 面化学抛光剂详细内容主要成分:不锈钢蚀刻剂、缓蚀剂、光亮剂、表面活性剂、不锈钢表面修复剂、缓冲剂等。适用范围:适用奥氏体、马氏体等多种不锈钢的表面化学抛光物理化学性质:蚀刻 剂>20%光亮剂>10%修复 剂>1.5%其他活性剂>4%特 性:本产品是一种新型的不锈钢化抛剂;药剂具特 殊的缓冲体系,抛光效能稳定。该产品使用简单、方便,抛光亮度易控制 ,可根据处理的温度和时间来控制,江苏抛光剂,温度高则时间短,反之温度低则时间长。抛光后的产品亮度均匀 一致,且本药剂的处理温度为中温,无需加过高的温度。

铝合金产品传统的三酸抛光的化学工艺配方为:磷酸80%,抛光剂销售,硫酸10%,10%。目前磷酸的价格为5400元/吨,硫酸700元/吨,2300元/吨(以上价格仅作为参考)。那么我们传统的配方成本为:磷酸800ml*1.70*5.40=7.344元,硫酸100ml*1.84*0.7=0.13元,100ml*1.40*2.30=0.32元,那么一升抛光液合计的成本为7.8元。目前我公司研制成功的OY系列铝处理化学抛光工艺,磷酸为500ml/l,硫酸500ml/l,光亮剂20ml/l, 成本核算为:500ml*1.70*5.40=4.59元;硫酸500*1.84*0.7=0.644;光亮剂计0.65元,抛光剂价格,合计5.85元。因此,我公司OY系列铝处理工艺,成本足足下降了20%。而且OY系列产品在处理铝的时候,无任何黄烟,抛光剂厂家,大大的改善了生产环境;处理成品率可以在到98%以上,几乎无因为抛光而造成的报废品;光亮度好,与三酸处理无异;维护管理容易,溶液性能稳定。因此,我公司极力推荐使用本产品。

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