真空镀膜设备真空泵的选择正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg较好。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。 真空镀膜机薄膜均匀性概念1.厚度上的均匀性：也能够理解为粗糙度，在光学薄膜的标准上看（也即是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜机的均匀性现已相当好，能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内，也即是说关于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何妨碍。2.化学组分上的均匀性：即是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于标准过小而很简单的发生不均匀特性，SiTiO3薄膜，假如镀膜进程不科学，那么实践外表的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的份额，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技能含量地点。3.晶格有序度的均匀性：这决议了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技能中的热点问题。真空镀膜机漏气检修真空电镀设备漏气问题我们应该如何进行检修呢？真空电镀设备漏气对于设备本身是有大的影响的，因此我们要及时的进行检修维护。1、要测试好真空室内气体密封性能的比例，确保气密性能够符合要求。2、然后检查真空镀膜漏孔大小、形状和漏气速度，分析出解决方案并且可以实施。3、要确认真空电镀漏气是真漏还是虚漏，因为在工件材料加热之后会在不同程度上产生一定的气体，有时候会误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，我们要排除这种情况。4、确定检测仪器小的检漏率和捡漏灵敏性，以大范围检测出漏气的情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。5、后还要避免真空电镀漏孔的堵塞，有时候因为操作失误，真空电镀在捡漏中，会有一些灰尘或液体等把漏孔给堵塞了，以为在那位置没有漏孔，但当这些堵塞物由于内外的压强差异提高或会使漏孔不堵了，但是漏气还是会存在的。</p 产品：至成真空科技供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
