镀膜设备的镀膜方式及常会遇到的问题镀膜设备就是在高真空状态下通过高温将金属铝熔化蒸发,使铝的蒸汽沉淀堆积到塑料薄膜表面上,从而使塑料薄膜表面具有金属光泽的设备。真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。镀膜设备的镀膜方式:离子镀,蒸发镀,溅射镀(1)镀膜设备的特点:成膜速度快0.1-50um/min,设备比较简单,操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。(2)缺点:薄膜附着力较小,结晶不够完善,工艺重复性不够好。镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?一。产品表面洁净度不够,离子源清洗Ar气放大时间长点。二。清洗是否有加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议用纯水先试一下。三。工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。 真空镀膜过程的均匀性到底多重要?真空镀膜过程非常复杂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。薄膜均匀性的概念:1、厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。3、晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。主要分类有两个大种类:一、对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。厚度均匀性主要取决于:1、基片材料与靶材的晶格匹配程度;2、基片表面温度;3、蒸发功率,速率;4、真空度;5、镀膜时间,厚度大小。组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。晶向均匀性:1、晶格匹配度;2、基片温度;3、蒸发速率.真空镀膜设备的正常工作条件真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。那么,真空镀膜设备的正常工作条件有哪些?我们一起来看看吧:1、环境温度:10~30℃2、相对湿度:不大于70%3、冷却水进水温度:不高于25℃4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外,真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。而且地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。</p 产品:至成真空科技供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单