氦质谱检漏仪的结构和工作原理氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。 氦质谱检漏仪性能试验方法灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。所谓“佳工作条件”是指仪器参数调整到佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，电子检漏仪，一般指在2min内输出仪表的大波动量。如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。 氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清除 电子检漏仪-博为光电|操作便捷(图)由安徽博为光电科技有限公司提供。安徽博为光电科技有限公司位于合肥市繁华西路工投立恒工业广场B-13B4层。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前博为光电在光电子、激光仪器中享有良好的声誉。博为光电取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。博为光电全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。 产品：博为光电供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
