真空镀膜机的维修方法介绍一、当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）2、坩埚被打穿（更换坩埚）3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈）5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）8、高低预阀是否密封可靠（注油） 真空镀膜设备选购要点分析真空镀膜设备选购要点分析如下：1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。5、根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。8、根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。9、完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用真空镀膜机的发展相当迅速，随着生产率的提高，生产费用大大降低，已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。以卷绕式真空镀膜机为例，刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm，目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm，大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%，辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用，卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2，可以在这个范围内选择，有的还可以镀多层膜，满足多种需要。日本提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室，左下室和右下室。蒸镀时，两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上，在塑料薄膜没有蒸镀的一侧，装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜，用于制磁带和薄膜太阳能电池等。</p 产品：至成真空科技供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
