高频磁控溅射设备有什么特点高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，因而难大规模采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，加入气体和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面，也发生在阳极，真空腔体表面，以及靶源表面。从而引起灭火，靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术，很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极，从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源（磁控，多弧，离子）所必需，因为能量很大一部分转为热量，若无冷却或冷却不足，这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。 真空镀膜设备镁铝合金镀膜的性质真空镀膜设备应用范围 真空镀膜设备镁和镁的合金的低密度使其比性能提高。例如20o时的弹性模量为45Gpa,比铝(70Gpa)和Ti(120Gpa)的低。镁和镁合金质量小的特点使其在交通运输、航空I业和航天I业上具有巨大的应用前景。真空镀膜设备在空气气中镁 会慢慢氧化，失去银白光泽而变黑。若温度提高至400C以上,镁的氧化速度增快，超过500°C以后氧化速度更快，会着火燃烧,此时会生成氧化镁和少量。镁燃烧时会发出非常强烈的光亮,颇受人们的青睐。早期就被利用于摄影照明，给人们留下美好的形象和记忆。利用这一特点 ,人们制作成的各种形色的在夜空飞舞,给人们带来极大的欢乐。由于化学活泼性高,金属镁是耐腐蚀性能差的金属之一。 各种类型大气均会对镁产 生程度不同的腐蚀作用。在干燥的空气中,它的表面上形成一层暗淡的的疏松多孔氧化膜,在潮湿大气中,生成的产物组成大致为Mgco3:3H2O+Mgso4 7H2o+Mg(OH)2。大气湿度增加工业地区和海洋环境的大气中所含的和氢化物等物质能加重镁的腐蚀。镁中氯化物杂质及铁杂质也会加速镁的腐蚀。因此,工业生产的镁锭必须镀膜钝化。如何减少真空镀膜机中的灰尘1、使用的源材料要符合必要的纯度要求；2、样品取出后放置的环境要注意清洁问题；3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求；5、工作人员要有专门的工作服装，操作要戴手套、脚套等；6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物；7、技术上明确允许的大颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少；8、室内空气流动性低、地面干净，如果是的水泥地，需要覆盖处理，墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。</p 产品：至成真空科技供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
