离子镀膜设备的操作规范是怎样的?离子镀膜设备的操作规范是怎样的?1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作稳定。 镀膜机的日常使用及维护教你镀膜机的日常使用及维护 1.例行保养生产设备中发现了一个不好的迹象,立即解决。镀膜机不要认为这油定期更换,等待维修时间,转子泵严重磨损可能。例如,轴承的一些卡工件转架,更换轴承,然后等到它完全打破了,可真是个大问题,镀膜机可能会导致转架电机烧毁等。2.定期检修,镀膜机有人会问一个日常的维护也需要定期维护?事实上,每个设备都有它自己的生命,如2年油扩散泵的使用寿命,提前更换,镀膜机在生产阶段没有问题。只要你把日常维护和定期检修,对设备的使用寿命,在同一时间的延长,生产过程中的失效概率大大减少,提高了生产效率。3,不要盲目拆卸。镀膜机问题的真空部分是困难的,而许多公司不泄漏检测器,并将逐步找到。离子镀膜设备的工作原理及操作方法目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时,将抛光的试样安放在式样头具上,倾转到面对电子(阴极)的位置,调节溅射室中的气压,辉光放电,阴极溅射,反应溅射沉积。一定时间后,中断溅射,把溅射沉积的试样表面,转回到面对物镜的位置,观察试样表面的颜色,来评定沉积膜的厚度,当要求的颜色得到时,镀膜操作停止。</p 产品:至成真空科技供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单