工业废气处理催化燃烧设备是使废气在催化剂的催化作用下在250~350℃的温度下发生氧化分解的废气处理设备。在催化燃烧装置中可以使废气中所含的有机废气（vocs）完全催化燃烧。相对于直接燃烧设备680～1050℃的高温，催化燃烧设备具有更多的优势。
RTO催化燃烧设备和RCO蓄热式燃烧工艺相对应用于普遍，VOCs一厂一策，运营成本低。RCO牵涉到催化剂替换，后期确保成本略高。如果支出充裕，应优先考虑到RTO。
VOCs末端治理及综合利用：
对于含低浓度VOCs的废气，有回收价值时可采用吸附技术、吸收技术对有机l溶剂回收后达标排放；不宜回收时，可采用吸附浓缩燃烧技术、生物技术、吸收技术、等离子体技术或紫外光氧化技术等净化后达标排放。
含有有机卤素成分VOCs的废气，宜采用非焚烧技术处理。
恶臭气体污染源可采用生物技术、等离子体技术、吸附技术、吸收技术、紫外光氧化技术或组合技术等进行净化。净化后的恶臭气体除满足达标排放的要求外，还应采取高空排放等措施，避免产生噪音问题。
VOCs污染防治应遵循源头和过程控制与末端治理相结合的综合防治原则。在工业生产中采用清洁生产技术，严格控制含VOCs原料与产品在生产和储运销过程中的VOCs排放，鼓励对资源和能源的回收利用;鼓励在生产和生活中使用不含VOCs的替代产品或低VOCs含量的产品。
在煤炭加工与转化行业，鼓励采用的清洁生产技术，实现煤炭有效、清洁转化，并重点识别、排查工艺装置和管线组件中VOCs泄漏的易发位置，制定预防VOCs泄漏和处置紧急事件的措施。
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