干式螺杆真空泵是在泵壳中一对螺杆同步反向高速旋转进而产生吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，轴承支撑着安装在泵壳内。因为螺杆与螺杆之间都留有一定的间隙，负压真空泵设备，所以运行时，相互之间不会有摩擦。螺杆真空泵是技术含量很高的绿色科技产品，精度高，负压真空泵，产量高，运转性能稳定，不易出故障。以前我国很多企业使用的干式螺杆真空泵几乎都是进口产品，成本高。
真空机组中有旁通阀时，先启动水环泵，接着开动罗茨泵，罗茨泵进排气的压差较大，旁通阀自动开启，被抽容器中的气体一部分经旁通阀进入水环泵，另一部分在罗茨泵的作用下，通过该泵也进入了水环泵，显然抽气的速率开始增加，了解被抽气体的成分，气体中是否含有可凝蒸气、有无颗粒灰尘等。选择真空泵的时候，需要知道气体的成分，针对被抽的气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、腐蚀性的等气体，应该考虑在罗茨水环真空机组的进气口管路上安装辅助设备，例如冷凝器、除尘器等。
也有研究表明，即使在临界压力以上，也有可能产生汽蚀现象。因为压力降低时，溶解在液体里的空气及其它气体就会分析出来，同时又把液体的蒸汽也带出来，形成充满液体蒸汽及气体的汽泡，这些汽泡特别容易在运动零件表面产生并长大，被液体带走，负压真空泵定做，到压力高的地方就突然凝结和破灭。
发生气蚀的临界压力随液体的性质、温度及溶解的气体的性质而异。有关水泵的资料介绍，对于除气的常温水，可以把相当于该水温下的饱和蒸汽压作为发生汽泡的临界压力值。
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