质谱仪能用高能电子流等轰击样品分子，使该分子失去电子变为带正电荷的分子离子和碎片离子。这些不同离子具有不同的质量，质量不同的离子在磁场的作用下到达检测器的时间不同，其结果为质谱图。质谱分析是先将物质离子化，按离子的质荷比分离，然后测量各种离子谱峰的强度而实现分析目的一种分析方法。无机质谱仪与有机质谱仪工作原理不同的是物质离子化的方式不一样，无机质谱仪是以电感耦合高频放电 (ICP)或其他的方式使被测物质离子化。
质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性不良，应及时清洗离子源。进行离子源操作时需要戴清洁的手套。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作原理分为静态仪器和动态仪器。无机质谱仪适用范围包括元素周期表中绝大多数元素，分析速度快，便于进行固体分析；电感耦合等离子体质谱，谱线简单易认，质谱仪厂家，灵敏度与测量精度很高。
质谱技术具有高灵敏度、高分辨率、分析速度快等优势，融合电子离子光学、物理化学等学科，涉及精密电子、精密机械、真空、软件、自动控制等技术，在健康、食品安全、环境监测、工业过程分析等领域具有的作用和举足轻重的地位。质谱可与其他分离仪器连用，如质谱-液相色谱。质谱是带电粒子在磁场中分开测质量的技术。质谱不属波谱范围；质谱图与电磁波波长和分子内某种物理量改变无关；质谱是分子离子及碎片离子质量与其相对强度的谱；谱图和分子结构有关；进样量少，灵敏度高，分析速度快。
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